潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(USA Federal Standard)209E(1992年)

1m3=35.3ft3。

對(duì)照我國標(biāo)準(zhǔn)及美國標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國的3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與美國的1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級(jí)向nm量級(jí)發(fā)展的過程中，潔凈室等級(jí)要求也越來越高。但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級(jí)（6級(jí)）或萬級(jí)（7級(jí)），只有局部區(qū)域的高自動(dòng)化作業(yè)才要求百級(jí)（5級(jí)）甚至更高。